한국CMR와 부산테크노파크 멤스·나노부품생산센터는 선박기관실 내 극한 환경에서도 엔진 상태를 원격으로 모니터링할 수 있는 고신뢰성 초소형 백금 온도센서(PT-100)를 국산화하는 데 성공했다. 이 센서는 차세대 선박엔진 제어시스템에 적용 가능하다. 특히 멤스 기술을 이용한 표면실장형으로 개발돼 온도 측정 모듈에 직접 장착할 수 있다. 이에 따라 생산 공정 단축과 원가 절감 효과를 크게 높였다.

　선박용 온도센서는 고온·고압의 극한 환경인 선박기관실 내 메인엔진, 보조엔진, 배기류 등의 온도를 측정해 엔진을 제어하기 위한 장치다. 국내에서 제작한 센서는 극한 환경에서 신뢰성이 높지 않아 주로 사용되는 결선형의 온도센서(PT-100·사진) 대부분을 수입에 의존해 왔다.

　한국CMR와 센터는 이번 극한 환경용 멤스 기반 초소형 온도센서 개발을 통해 정밀한 출력 값을 구현하기 위한 초정밀 패턴 설계 기술, 열 처리를 통한 센서소자 응력해소 기술 등을 축적했다. 특히 -200℃∼800℃에서도 사용 가능한 온도 센서 원천기술을 확보했다.

　이와 함께 멤스·나노부품생산센터가 LG전자와 공동 개발한 ‘데코레이션용 미세금형’은 가전제품과 모바일 기기에 아름다움을 부여할 수 있는 기술이다. 수백 나노에서 수 마이크로 패턴을 반복적으로 구현해 홀로그램 효과를 나타낸다. 여기에는 전통적 기계가공 기술로는 구현할 수 없는 수준의 미세 패터닝 기술이 적용됐다. 특히 기존 방식보다 생산 시간과 원가 절감 면에서 대량생산에 적합해 주목받는다.

　이 멤스 기반 미세금형 기술은 지난 4월부터 양산 제품에 적용되고 있으며 최근 생산단가를 더 낮출 수 있는 체계도 마련됐다. 이 기술은 유행에 민감한 가전제품과 모바일 기기에서 기존 기계가공 금형기술을 대체할 최적의 수단이자 생산성 향상에 기여하는 최고 응용기술로 평가받고 있다.

　 임동식기자 dslim@etnews.co.kr